青岛福润德，LED炉

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更新时间：2024-10-28 08:53:04

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供应商青岛福润德微电子设备有限公司

所在地山东青岛

张琪

13969693848

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产品详情

青岛福润德，LED炉

基本参数

产品别名	LED芯片	面向地区	山东青岛	品牌	福润德
产地	青岛	适用工件	平面	自动化程度	全自动
打印方向	双向打印

LED炉主要满足LED芯片制造行业，对圆片及残片进行合金、退火、扩散、氧化等工艺。

主要性能指标：

外型形式：卧式1—4管结构，水平炉管
工作温度：200℃—1100℃
恒温区长度：≥600mm
硅片规格：适用于2—6英寸硅片以及碎片
恒温区精度：≤±1℃(在400—1000℃范围内)
单点温度稳定性、重复性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范围内)
温度过冲平衡：载料进炉，温度平衡到工艺时间，低于10分钟
工艺气体及控制：氮气、氧气，MFC或浮子流量计控制
气路系统气密性：1×10-7PaM3/S
送料机构：悬臂石英杆载料，手动
报警系统：工艺气体压力异常报警、断电报警、超温报警、极限超温报警
控制方式：工控机总程控制、触摸屏控制

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供应商信息

青岛福润德微电子设备有限公司

青岛福润德微电子设备有限公司坐落在山东省青岛市城阳区北万工业园，交通便利，环境优美,距离流亭国际机场仅五公里,现有厂房面积2000余平方米，固定资产800万元，共有员工50余人，工程技术人员10余人。是一批具有丰富技术经验和敬业精神的团队所组成,是我国微电子设备生产厂家之一,中国半导体设备行业协会理事单位,在国内外享有盛誉，为国家863计划做出重大贡献。……

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