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大组织透明化样品可以通过悬挂的方式放置在样品载物台上,样品大尺寸是1cm*1cm*1cm。
适合样品:水溶性试剂透明化的小鼠胚胎、脑、肺、肝脏、肾脏、胰腺、卵巢等。
上样方式:平台配有不同形式的样品粘托和样品托盘,可以将样品通过粘贴悬挂或者托挂的方式放置在载物台上,没有固定形式,大家集思广益。
扫描电镜图像的形成需要各个系统相互配合,电子光学系统为扫描电镜提供的电子束,信号探测系统将电子束与样品相互作用产生的信号进行采集与处理。电子光学系统内容请参考往期文章,本篇主要对扫描电镜的信号探测系统进行介绍。
扫描电镜可以采集多种不同类型的信号用于成像和分析,其中二次电子(SE)和背散射电子(BSE)信号是基本也是常见的两种信号类型。
不同厂家和型号的电镜在采集SE,BSE信号时所用的探测器都具有各自特的技术,但旁置式二次电子探测器和极靴下背散射电子探测器在架构和工作原理方面相对固定,应用也很广泛,因此本文只会对旁置式二次电子探测器和极靴下背散射电子探测器进行介绍。
STEM探测器和经典的极靴下背散射电子探测器类似,一般也采用半导体材质,并分割为好几块,
其中一块位于样品的正下方,主要用于接收正透过样品的透射电子,即所谓的明场模式;还有的位于明场探测器的周围,接收经过散射的透射电子,即所谓的暗场模式。
蔡司热场发射扫描电子显微镜SIGMA 500采用Gemini电子束非交叉光路设计,突破了传统设计中电子束交叉三次造成能量扩散的限制。束流适中,大大降低了色差对成像质量的影响。镜头镜筒内置电子束加速器,无需切换减速模式即可实现的低电压成像。低20V可成像,样品类型不受限制。透镜镜筒物镜采用静电透镜和电磁透镜相结合的方式,在工作距离范围内没有磁场,可在高倍率下观察磁性材料。环形二次电子探测器In-Lens安装在镜筒的正光路上。圆柱形一体化超大样品室配备5轴全自动中心样品台,可容纳直径250mm的超大样品。同一品牌的电子显微镜和光学显微镜可以组合观察(可选),只有一个通用的样品架和配套的软件是Shuttle&Find,可以充分发挥光镜和电子镜各自的优势
特点
使用多视角成像功能查找样品在成像物镜中的佳位置
在进行样品信息的后期处理前,从不同视角采集信息对整个样品成像
通过重组不同视角的信息来提高图像的分辨率,然后使用特殊的去卷积算法进一步提高图像质量
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝枪的扫描电镜的真空要求,但对于装置了场致发射枪或六硼化镧及六硼化铈枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室,用于放置样品。
扫描电子显微镜是利用材料表面微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域产生不同的亮度差异,从而获得具有一定衬度的图像。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子,其中二次电子是主要的成像信号[2]。图3为其成像原理图,高能电子束轰击样品表面,激发出样品表面的各种物理信号,再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息。
扫描电镜及X射线能谱仪或电子探针为准确鉴定钢中非金属夹杂物属性提供了非常可靠的技术,他可以将D类等非金属夹杂物的二维和三维形貌、与所含元素的X射线元素面分布图、与其内含有元素或所含简单氧化物的重量百分数和原子百分数定量分析结果有机结合起来,对这种D类非金属夹杂物给出一个全新的诠释。由此,作者提出了非金属夹杂物的相结构概念
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