国产光刻机-URE-2000/35高对准精度光刻机
使用微信扫描二维码分享朋友圈，成交更快更简单！

更新时间：2024-09-04 10:51:11 信息编号：3c2dnkqtg1c8d6

￥3500000

≥ 1台

价格：
3500000.00 元
品牌：
其它
产地：
螣芯科技
关键词：
国产光刻机,高对准精度光刻机

娄先生

13122976482

1029292366

微信在线

获取报价在线咨询

详情介绍

产品别名	单面光刻机,国产光刻机,国产单面光刻机	面向地区	上海	品牌	其它
产地	螣芯科技	适用工件	皆可	自动化程度	半自动
打印方向	单向打印

国产光刻机-URE-2000/35高对准精度光刻机

更多资料咨询上海：娄经理
产品名称：URE-2000/35型紫外光刻机国产光刻机-URE-2000/35高对准精度光刻机
主要技术指标：
曝光面积：100mm×100mm
分辨力：1um（胶厚1.5μm的正胶）
对准精度：±0.8μm
大胶厚：300μm（SU8胶）
掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch
样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)；
照明均匀性：±4%（Ф100mm 范围）
gong灯功率：350W（直流）
掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
技术特点：
创新采用三柔性支点实现自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准精度。整机具有性能可靠、操作方便、自动化程度高等特点。
单面光刻机国产单面光刻机

上一条供应浙江异构十二烷丽水异构十二烷香精化妆平顶山矿用3PE防腐钢管厂家实体下一条