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福润德微控扩散炉

更新时间：2024-10-29 08:29:14 信息编号：76ru59ps5b2d0
福润德微控扩散炉

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  • 青岛

  • 福润德,微控,扩散炉

张琪

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详情介绍

福润德微控扩散炉

产品别名
福润德
面向地区
品牌
福润德
产地
青岛
适用工件
平面
自动化程度
全自动
打印方向
双向打印
扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。

主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。

扩散炉技术指标：

可处理硅片尺寸：2—12英寸
外型形式：卧式1—4管结构
工作温度：200℃—1300℃
恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性： ≤±1℃/24h
温度斜变： 可控升温速率15℃／min
可控降温速率： 5℃／min
送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉舟
气路系统：1—5路工艺气体／管
气体控制：全自动MFC
控制方式：工控机、触摸屏
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青岛福润德微电子设备有限.. 1年

  • 太阳能扩散炉,程控高低温扩散炉
  • 山东青岛市城阳区棘洪滩街道前海西社区韩海路南端

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