产品别名 |
薄膜应力仪,薄膜应力测量仪,薄膜应力测试仪,应力测试仪 |
面向地区 |
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用途 |
生产 |
国产薄膜应力测量仪-高稳定性
国产薄膜应力测量仪-MA400-激光测试法 （薄膜应力测量仪/薄膜应力仪）
更多咨询联系：娄经理 （上海办）
技术规格 参数
基本原理 激光曲率法 /基于Stoney公式
主要方法 采用5×5 激光点阵对样品进行扫描测量 635 nm波长/ 5mW
主要功能 自动测量计算曲率半径和薄膜应力
扫描模式 Mapping面扫模式（主要表征局部区域的薄膜曲率半径或应力分布） L-D线扫模式（快速表征样品整体薄膜平均曲率半径或残余应力）
薄膜应力测试范围 5 MPa~5 GPa
曲率半径测试范围 2-200 m
曲率半径重复精度 ＜1 % （曲率半径<20 m），＜3 % （曲率半径 <100 m）
扫描步长 0.1 mm
扫描点数 >1 万点
样品尺寸 M100型号：4 英寸 M200型号：8 英寸
样品尺寸 > 15*15 mm 样品
样品基片校正 可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式）
电源 110-220 VAC & 200 Watts Maximum
通讯连接端口 USB 3.0
工作温度 0~50 ?C
操作软件 可视化2D/3D显示 视窗界面/适用于Windows 7/Windows 10系统
操作电脑 标配台式一体机：显示器>21英寸，8G内存，Intel CPU，256G硬盘
外形尺寸 M100型号：～950×400×480 mm M200型号：～1050×500×480 mm
重量 ~40K g 质量 一年免费/终身维护 备注 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们
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