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扫描电镜图像的形成需要各个系统相互配合,电子光学系统为扫描电镜提供的电子束,信号探测系统将电子束与样品相互作用产生的信号进行采集与处理。电子光学系统内容请参考往期文章,本篇主要对扫描电镜的信号探测系统进行介绍。
STEM探测器和经典的极靴下背散射电子探测器类似,一般也采用半导体材质,并分割为好几块,
其中一块位于样品的正下方,主要用于接收正透过样品的透射电子,即所谓的明场模式;还有的位于明场探测器的周围,接收经过散射的透射电子,即所谓的暗场模式。
扫描电镜及X射线能谱仪或电子探针为准确鉴定钢中非金属夹杂物属性提供了非常可靠的技术,他可以将D类等非金属夹杂物的二维和三维形貌、与所含元素的X射线元素面分布图、与其内含有元素或所含简单氧化物的重量百分数和原子百分数定量分析结果有机结合起来,对这种D类非金属夹杂物给出一个全新的诠释。由此,作者提出了非金属夹杂物的相结构概念,用“复相夹杂物”代替目前常用的“复杂夹杂物”或“复合夹杂物”,重新认识这个对钢性能有重要影响的D类非金属夹杂物,与业界同行商榷。
指出,复杂氧化物、复杂夹杂物、复杂化合物中用“复杂”来形容D类非金属夹杂物不科学,“复杂”常被用来形容社会科学和人类生活的难易程度,很少用在术语的描述,用他形容这种D类非金属夹杂物的复杂程度即抽象又不确切,不能给出形貌和数据的概念;第二,叫复合夹杂物也值得商榷,“复合”是一种搀和的意思,复合夹杂物是一种混合物的概念,混合物带有机械混合之意,混合物内各组元的分布无规律;第三,叫复杂化合物也不妥,化合物是纯净物,由不同种元素组成的纯净物叫做化合物,并可以用一种化学式表示,而混合物则不是,也没有化学式。
蔡司热场发射扫描电子显微镜SIGMA 500采用Gemini电子束非交叉光路设计,突破了传统设计中电子束交叉三次造成能量扩散的限制。束流适中,大大降低了色差对成像质量的影响。镜头镜筒内置电子束加速器,无需切换减速模式即可实现的低电压成像。低20V可成像,样品类型不受限制。透镜镜筒物镜采用静电透镜和电磁透镜相结合的方式,在工作距离范围内没有磁场,可在高倍率下观察磁性材料。环形二次电子探测器In-Lens安装在镜筒的正光路上。圆柱形一体化超大样品室配备5轴全自动中心样品台,可容纳直径250mm的超大样品。同一品牌的电子显微镜和光学显微镜可以组合观察(可选),只有一个通用的样品架和配套的软件是Shuttle&Find,可以充分发挥光镜和电子镜各自的优势
激光扫描共聚焦显微镜是在传统荧光显微镜成像的基础上采用激光作为光源,通过使用激光扫描装置和共轭聚焦装置,利用计算机对所观察的对象进行数字图像处理的现代化光学显微镜。它能以的分辨率采集细胞或组织内部的荧光标记图像、观察细胞或组织内部的微细结构和形态学变化、在亚细胞水平观察胞内重要离子浓度或 pH 的变化、结合电生理技术观察和记录细胞的生理活动。使用激光扫描共聚焦显微镜,还可以对观察样品进行断层扫描和成像、重构和分析细胞的三维空间结构。
蔡司解决方案在增材制造领域的应用范围覆盖粉末和材料分析,所使用的设备包括光学显微镜、扫描电镜、X射线技术。
使用光学显微镜来测试金属粉末的粒径分布
使用SEM扫描电镜对3D打印金属粉末的球形度和实心性进行分析
使用CT对粉末颗粒的宽高比和粒径进行分析
对于内部缺陷,蔡司的解决方案也能轻松检测,比如微裂纹、分层、疲劳裂纹、盈利、孔隙率、粉末残留物和气孔等。
使用全新样品定位方法创建多视角( Multiview) 数据
使用折射率 n=1.38 的 Scale 介质(Hama 等,Nat Neurosci 期刊,2011 年),或折射率 n=1.45 的水性澄清液(例如:CelExplorer Labs 公司生产的 FocusClear™ 产品)进行透明处理的组织来完成实验
使用可选的触发界面维持生理条件,充分发挥成像信息和环境条件控制两者相结合的优势
光透技术
扫描电镜除能检测二次电子图像以外,还能检测背散射电子、透射电子、特征x射线、阴极发光等信号图像。其成像原理与二次电子像相同。在进行扫描电镜观察前,要对样品作相应的处理。
对样品的要求
1、不会被电子束分解
2、在电子束扫描下热稳定性要好
3、能提供导电和导热通道
4、大小与厚度要适于样品台的安装
5、观察面应该清洁,物
6、进行微区成分分析的表面应平整
7、磁性试样要预先去磁,以免观察时电子束受到磁场的影响