真空镀膜电源

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真空镀膜电源

一、直流磁控溅射镀膜电源
直流磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现；电源具有良好的负载特性，，适用于金属及反应膜层环境使用。
1．产品特点：
（1）输出高频脉动直流电，纹波小，响应速度快。
（2）人机交互操作界面，DSP数字芯片控制，RS485通信；远/近控切换，IGBT逆变。
（3）操作界面自定义恒流、恒压、恒功率控制。
（4）内置储能电子电抗，自动匹配负载。
（5）抑制靶材弧光放电，理想的电压陡降特性，自动识别伪打火
（6）完善的保护功能，设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。
（7）工艺重复性好，成膜速度快， 实现的溅射膜层。
2．技术参数
型号：ZL-10KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-10KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-12.；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：ZL-20KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-20KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-2；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：ZL-30KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-30KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-37.；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：ZL-40KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-40KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-50A；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：ZL-60KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-60KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-7；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
二、中频磁控溅射镀膜电源
中频磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，交流正弦输出，电源输出频率设为典型的中频溅射电源以两个溅射靶作为负载，两个靶交替工作，因此溅射靶一个溅射周期内一半以上的时间为反向电压截止溅射，使靶材表面积累电荷有的到充分泄放时，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，特别适用于反应膜层环境使用。
1．产品特点：
（1）适用于中频孪生靶磁控溅射金属或非金属材料；特别适用于磁控反应溅射环境使用。
（2）人机交互操作界面；单片机智能控制；RS485通信；非晶逆变；模块IGBT设计。
（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制；输出电压、输出电流宽范围调节。
（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、短路等多重保护。
（5）内置电子电抗；自动匹配负载；输出频率40KHz。
（6）自动抑制靶材弧光放电及靶材表面中毒。
（7）镀膜工艺重复性好；提高成膜速度。
2．技术参数
型号：ZP-10KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-10KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-12.；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：ZP-20KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-20KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-2；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：ZP-30KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-30KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-37.；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：ZP-40KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-40KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-50A；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：ZP-60KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-60KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-7；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
三、偏压镀膜电源
1．产品特点：
（1）输出负极性电压【输出端正极连接镀膜设备真空室(真空室接地)；输出端负极连接工件(靶材)】。
（2）人机交互操作界面；DSP数字芯片控制；RS485通信；远/近控切换；非晶逆变。
（3）自定义恒流、恒压、恒功率控制。
（6）内置电子电抗；自动匹配负载。
（5）内置大功率高频开关稳压电源。
（4）完善的保护功能；设有过流、过压、过热、限流、短路等多重保护。
（6）提高真空等离子体内带电粒子能量，轰击清洁被镀工件表面，提高沉积膜层的结合力。
2．技术参数
型号：PY-10KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-10KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-12.；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：PY-20KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-20KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-2；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：PY-30KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-30KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-37.；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：PY-40KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-40KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-50A；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
型号：PY-60KW（输入电压：380V+N ±10%，50-60 Hz ；输出功率：0-60KW； 输出电压：0-800V/1000V；输出电流：0-7；冷却方式：水冷+风冷；
外形尺寸：480*280*580mm）。
四、扩散泵电磁加热器
1.特点：本产品是专为扩散泵加热而量身设计的电磁加热器，本产品特色具有快速、、节能、、抗干扰等特点。
2．技术参数
型号：KSB800-1｛输入电压：380V+N ；加热功率：20KW(Max)；
线盘直径/数量：800mm/1个；保温棉直径/数量：800mm/1块；
冷却方式：风冷；机箱尺寸(mm)：440*360*645｝。
型号：KSB1000-1｛输入电压：380V+N ；加热功率：20KW(Max)；
线盘直径/数量：1000mm/1个；保温棉直径/数量：1000mm/1块；
冷却方式：风冷；机箱尺寸(mm)：440*360*645｝。
型号：KSB800-2｛输入电压：380V+N ；加热功率：20KW(Max)；
线盘直径/数量：800mm/2个；保温棉直径/数量：800mm/2块；
冷却方式：风冷；机箱尺寸(mm)：440*360*950｝。
型号：KSB1000-2｛输入电压：380V+N ；加热功率：20KW(Max)；
线盘直径/数量：1000mm/2个；保温棉直径/数量：1000mm/2块；
冷却方式：风冷；机箱尺寸(mm)：440*360*950｝。